Mikrostruktuuranalise en -evaluering van halfgeleiermateriale
Diens Inleiding
Met die voortdurende ontwikkeling van grootskaalse geïntegreerde stroombane, word die chip-vervaardigingsproses meer en meer kompleks, en die abnormale mikrostruktuur en samestelling van halfgeleiermateriale belemmer die verbetering van chip-opbrengs, wat groot uitdagings bring vir die implementering van nuwe halfgeleier en geïntegreerde stroombaan tegnologieë.
GRGTEST bied omvattende halfgeleier materiaal mikrostruktuur analise en evaluering om kliënte te help om halfgeleier en geïntegreerde stroombaan prosesse te verbeter, insluitend voorbereiding van wafer vlak profiel en elektroniese analise, omvattende ontleding van fisiese en chemiese eienskappe van halfgeleier vervaardiging verwante materiale, formulering en implementering van halfgeleier materiaal kontaminant analise program.
Diens omvang
Halfgeleiermateriale, organiese kleinmolekulemateriale, polimeermateriale, organiese/anorganiese hibriedmateriale, anorganiese nie-metaalmateriale
Diens program
1. Chip wafer vlak profiel voorbereiding en elektroniese analise, gebaseer op gefokusde ioonstraal tegnologie (DB-FIB), presiese sny van die plaaslike area van die chip, en real-time elektroniese beelding, kan die chip profiel struktuur, samestelling en ander verkry. belangrike prosesinligting;
2. Omvattende ontleding van fisiese en chemiese eienskappe van halfgeleier vervaardigingsmateriale, insluitend organiese polimeer materiale, klein molekule materiale, anorganiese nie-metaal materiaal samestelling analise, molekulêre struktuur analise, ens.;
3. Formulering en implementering van kontaminantontledingsplan vir halfgeleiermateriale.Dit kan kliënte help om die fisiese en chemiese kenmerke van besoedeling ten volle te verstaan, insluitend: chemiese samestelling analise, komponent inhoud analise, molekulêre struktuur analise en ander fisiese en chemiese kenmerke analise.
Diens Items
| Dienstipe | Diensitems |
| Elementêre samestelling analise van halfgeleier materiale | l EDS elementêre analise, l X-straalfoto-elektronspektroskopie (XPS) elementêre analise |
| Molekulêre struktuuranalise van halfgeleiermateriale | l FT-IR infrarooi spektrum analise, l X-straaldiffraksie (XRD) spektroskopiese analise, l Kernmagnetiese resonansie-pop-analise (H1NMR, C13NMR) |
| Mikrostruktuuranalise van halfgeleiermateriale | l Dubbel gefokusde ioonstraal (DBFIB) sny analise, l Veld-emissie skandeerelektronmikroskopie (FESEM) is gebruik om die mikroskopiese morfologie te meet en waar te neem, l Atoomkragmikroskopie (AFM) vir oppervlakmorfologiewaarneming |
