Inleiding tot dubbelstraalskanderingselektronmikroskopie (DB-FIB)

Belangrike toerusting vir mikroanalise-tegnieke sluit in: optiese mikroskopie (OM), dubbelstraalskanderingselektronmikroskopie (DB-FIB), skandeerelektronmikroskopie (SEM) en transmissie-elektronmikroskopie (TEM).Vandag se artikel sal die beginsel en toepassing van DB-FIB bekendstel, met die fokus op die diensvermoë van radio- en televisiemetrologie DB-FIB en die toepassing van DB-FIB op halfgeleieranalise.

Wat is DB-FIB
Dubbelbundel skandeerelektronmikroskoop (DB-FIB) is 'n instrument wat die gefokusde ioonstraal en skandeerelektronstraal op een mikroskoop integreer, en is toegerus met bykomstighede soos gasinspuitingstelsel (GIS) en nanomanipuleerder, om sodoende baie funksies te bereik soos ets, materiaalafsetting, mikro- en nano-verwerking.
Onder hulle versnel die gefokusde ioonstraal (FIB) die ioonstraal wat deur vloeibare galliummetaal (Ga) ioonbron gegenereer word, fokus dan op die oppervlak van die monster om sekondêre elektronseine te genereer, en word deur die detektor versamel.Of gebruik sterk stroom ioonstraal om die monsteroppervlak te ets vir mikro- en nano-verwerking;'n Kombinasie van fisiese sputtering en chemiese gasreaksies kan ook gebruik word om metale en isolators selektief te ets of neer te sit.

Hooffunksies en toepassings van DB-FIB
Hooffunksies: vastepunt-dwarssnitverwerking, TEM-monstervoorbereiding, selektiewe of verbeterde ets, metaalmateriaalafsetting en isolerende laagafsetting.
Toepassingsveld: DB-FIB word wyd gebruik in keramiekmateriale, polimere, metaalmateriale, biologie, halfgeleier, geologie en ander velde van navorsing en verwante produktoetsing.In die besonder, DB-FIB se unieke vastepunt transmissie monster voorbereiding vermoë maak dit onvervangbaar in die halfgeleier mislukking analise vermoë.

GRGTEST DB-FIB diens vermoë
Die DB-FIB wat tans deur die Sjanghai IC-toets- en analiselaboratorium toegerus is, is die Helios G5-reeks van Thermo Field, wat die mees gevorderde Ga-FIB-reeks in die mark is.Die reeks kan skandeerelektronstraalbeeldresolusies onder 1 nm bereik, en is meer geoptimaliseer in terme van ioonstraalwerkverrigting en outomatisering as die vorige generasie tweestraalelektronmikroskopie.Die DB-FIB is toegerus met nanomanipuleerders, gasinspuitingstelsels (GIS) en energiespektrum EDX om aan 'n verskeidenheid basiese en gevorderde halfgeleierfoutanalisebehoeftes te voldoen.
As 'n kragtige instrument vir halfgeleier fisiese eienskap mislukking analise, kan DB-FIB vastepunt deursnee bewerking met nanometer presisie uitvoer.Terselfdertyd van FIB-verwerking kan die skandeerelektronstraal met nanometerresolusie gebruik word om die mikroskopiese morfologie van deursnee waar te neem en die samestelling intyds te analiseer.Bereik die afsetting van verskillende metaalmateriale (wolfram, platinum, ens.) en nie-metaalmateriale (koolstof, SiO2);TEM ultra-dun skywe kan ook op 'n vaste punt voorberei word, wat kan voldoen aan die vereistes van ultrahoë resolusie waarneming op atoomvlak.
Ons sal voortgaan om in gevorderde elektroniese mikroanalise-toerusting te belê, die vermoëns wat verband hou met halfgeleierfoutanalise te verbeter en uit te brei, en kliënte van gedetailleerde en omvattende oplossings vir mislukkingsanalise te voorsien.